1.实现大行程纳米定位
2.高分辨率（1纳米），重复定位精度（75纳米），定位精度（250纳米）
3.1纳米的位置稳定性
4.抗爬行十字交叉滚珠轴承
5.高动态特性

1.结构紧凑25mm*25mm或50mm*50mm行程
2.实现大行程纳米定位
3.高分辨率（1纳米），重复定位精度（75纳米），定位精度（250纳米）
4.1纳米的位置稳定性
5.抗爬行十字交叉滚珠轴承
6.高动态特性

1.大行程实现纳米定位
2.高分辨率（2纳米），重复定位精度（75纳米），定位精度（300纳米）
3.2纳米的位置稳定性
4.抗爬行十字交叉滚珠轴承
5.高动态特性

1.高分辨率（0.01角秒）
2.高性能
3.卓越的跳动指标
4.卓越的定位性能
5.高动态特性
6.多轴结构

1.实现大行程纳米定位
2.高分辨率（1纳米），重复定位精度（75纳米），定位精度（250纳米）
3.1纳米的位置稳定性
4.抗爬行十字交叉滚珠轴承
5.高动态特性
6.8种行程和精度范围可选

1.结构紧凑的纳米平移台
2.大行程实现纳米定位
3.高分辨率（1纳米），重复定位精度（50纳米），定位精度（250纳米）
4.3纳米的位置稳定性
5.抗爬行十字交叉滚珠轴承
6.高动态特性

1.大行程实现纳米定位
2.高分辨率（2纳米），重复定位精度（75纳米），定位精度（300纳米）
3.2纳米的位置稳定性
4.抗爬行十字交叉滚珠轴承
5.高动态特性

1.高分辨率（0.01角秒）
2.高性能
3.卓越的跳动指标
4.卓越的定位性能
5.高动态特性
6.多轴结构

1．非接触，无齿槽，无摩擦，直接驱动
2．零背隙，无磁滞现象
3．抗爬行十字交叉滚珠轴承
4．最大360毫米行程
5．高分辨率（1纳米），重复定位精度（100纳米），定位精度（150纳米）
6．完整的多轴电缆管理系统

1.集成低框架XY直线电机平台，25mm*25mm或50mm*50mm行程
2.实现大行程纳米定位
3.定位稳定性<1纳米
4.二维系统精度为250纳米
5.高动态性能

1.集成低框架XY轴直线电机平台
2.实现大行程纳米级定位
3.二维系统精度为250nm
4.定位稳定性<1纳米
5.高动态性能

1.实现3mm垂直行程的纳米级定位
2.高分辨率（1nm），重复定位精度（100nm），精度（200nm）
3.定位稳定性<1纳米
4.抗蠕动交叉滚珠轴承
5.高动态性能

1.实现5mm垂直行程的纳米级定位
2.高分辨率（2nm），重复定位精度（100nm），精度（200nm）
3.定位稳定性<2纳米
4.抗蠕动交叉滚珠轴承
5.高动态性能

1.非接触，无齿槽，零背隙或无磁滞无摩擦直接驱动
2.高速（150°/s）
3.高分辨率（0.05角秒）
4.杰出的定位稳定性
5.20°大旋转角度
6.两支架正交安装提供绕同一点旋转
7.无需维护
8.紧凑型设计