1采用AEROTECH自有无刷直线伺服电机，性能出众，寿命长
2可灵活配置Z轴和θ轴
3可选机械底座和抬高量
4可选表面镀镍以进行ESD保护和医疗应用
5紧凑设计，整体尺寸小
6是芯片焊接机，引线接合器，WLP和DNA压型的理想选择．
Travel行程 ≤500mm
Accuracy精度 ±5.0um(±200uin)
Load　负载 15kg(33lb)

1速度高达3米/秒,加速度3g
2采用大推力无刷直线伺服电机
3可灵活配置Z轴和θ轴
4非接触直线编码器(光栅)
5可选机械底座和抬高量
6适用于高速拾取/放置,自动化装配,视觉检测,点胶机,高精度检测．
Travel行程 ≤1000mm
Accuracy精度 ±5.0um
Load　负载 25kg(55.1lb.)

1气浮导轨实现超平滑运动
2所有轴都预加载荷
3下面轴采用双无刷直线伺服电机驱动
3行程达1mx1m
4非接触直线编码器(光栅)
5可选Z轴,隔振,机械底座和控制箱
6适用于高速拾取/放置,自动化装配,视觉检测,点胶机,高精度检测．
Travel行程 ≤1000mm
Accuracy精度 ±2.0um
Load负载 84kg

1最大2m/s扫描速度和5g加速度的输出
2最快的转向和最小的稳定时间
3主动偏转控制
4直线光栅或激光干涉仪反馈
5行程1.2mx1.2m

行程≤1200mm
精度±300nm
重复定位精度±50nm
分辨率0.25nm

1精密线性优化设计使结构紧凑
23m/s速度和5g的加速度
3高功率无刷直线伺服电机提供平滑的运动
4高达500mm*500mm可选行程
5可选无镀镍的防静电保护
6可灵活配置Z轴和θ轴
7非接触式直线编码器
8可配置的线缆管理系统，可提供纤维激光器、摄像机、气管等接线的多重应用集成。