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纳米定位系统线性执行器龙门系统多轴系统气浮系统定制系统直线平台旋转平台手动平台光学器件直线电机旋转电机伺服驱动器测量反馈装置运动控制器机械传动往日产品
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MARK-10

1 激光干涉仪反馈
2 1.2米直线电机驱动,气浮导轨导向,0.3nm分辨率
3 先进的控制系统,高速度高分辨率细分器和良好的环境兼容性