ANT系列纳米技术平台1，大行程 2，高动态性能 3，高精度 4，高分辨率 5，易使用软件

AGV振镜1，光学反馈装置提供优秀的热稳定性 2，使用Aerotech的Nmark CLS控制器，可以实现工业级最高的24位分辨率 3，光圈和焦距的范..

SMP1，同时进行顶部和侧面的3D表面测量 2，提高产量 3，节省时间和经费